Dangos storio tikrinimo mikroskopai yra specializuoti optiniai instrumentai, skirti išmatuoti įvairių substratų dangų storį su dideliu tikslumu. Pramonės šakose, kuriose paviršiaus savybės yra kritinės-pvz., automobilių, kosmoso, elektronikos ir gamybos-gebėjimas išmatuoti dangos storį yra būtinas kokybės kontrolei ir laikytis reguliavimo standartų.