Pārklājuma biezuma pārbaudes mikroskopi ir specializēti optiskie instrumenti, kas paredzēti, lai mērītu dažādu substrātu pārklājumu biezumu ar augstu precizitāti. Nozarēs, kur virsmas īpašības ir kritiskas-piemēram, automobiļu, kosmiskās aviācijas, elektronikas un ražošanas-spēja izmērīt pārklājuma biezumu ir būtiska kvalitātes kontrolei un atbilstībai normatīvajiem standartiem